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传感芯片批处理投影光刻机 价格：元 型号：UVSTEP-50101

该设备能自动完成样片外缘轮廓的高精度对准，将掩模图案套刻在样片中心，并能兼容传统光刻工艺中的图层间套刻，可用于温度传感器、压力传感器、电容传感器、声表器件等微纳器件的生产。

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02 UVSTEP-50101传感芯片批处理投影光刻机.png

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